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Diener 等離子蝕刻機 Tetra 8 RIE

簡要描述：Diener 等離子蝕刻機 Tetra 8 RIE特點：
·適用于8"以下樣品的處理

·等離子蝕刻機，可實現(xiàn)快速且一致的樣品表面刻蝕

·全局的工藝氣體通過氣浴進(jìn)氣實現(xiàn)了均勻的氣體分布

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Diener 等離子蝕刻機 Tetra 8 RIE

特點：

·適用于8”以下樣品的處理

·等離子蝕刻機，可實現(xiàn)快速且一致的樣品表面刻蝕

·全局的工藝氣體通過氣浴進(jìn)氣實現(xiàn)了均勻的氣體分布

·電極水冷確保了樣品的溫度不會偏高

·工業(yè)Windows控制系統(tǒng)，多段程序控制功能，實現(xiàn)一鍵蝕刻功能

·適合于研究院、高校、研發(fā)中心等使用，也可小批量生產(chǎn)

型號	TETRA 8 RIE
控制系統(tǒng)	基于軟件WINDOWS 10的PC控制系統(tǒng)
程序存儲	100套
工藝過程監(jiān)控	二維折線圖與數(shù)字實時顯示
參數(shù)偏離值設(shè)定	初抽真空時間、進(jìn)氣量偏差值，實際功率輸出值
報錯功能	顯示詳細(xì)的報錯信息
數(shù)據(jù)導(dǎo)入導(dǎo)出	USB/TCP IP
選程控制	Team viewer
工藝氣路	兩路進(jìn)氣通道（兩路腐蝕性氣體）一路沖洗管路一路泄氣管路
流量計	MFC流量計
真空腔體	圓形不銹鋼腔體腔體尺寸：Φ280mm x D 127mm 約8L 腔體可做防腐
托盤	鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃
電極	RIE(蝕刻專用)電極配有氣浴電極水冷
冷卻系統(tǒng)	冷卻真空腔體和電極
發(fā)生器	13.56 MHz 0-600W 自動匹配
安全開關(guān)	門開關(guān)、皮拉尼開關(guān)、真空開關(guān)
真空壓力計	2pcs 電容式真空計
外形尺寸(W×H×D)	1800mm×2200mm×1800mm
電源	AC 400 V / 50 - 60 Hz / 16 A
真空泵	防腐真空泵抽速不低于90 m³/h 分子泵排氣速度
冷卻系統(tǒng)	冷水機對真空腔體，電極進(jìn)行冷卻

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